三轴气浮高精密平台

三轴气浮高精密平台

产品介绍

产品特点：

1、气浮导轨，完全无接触摩擦
2、亚微米级重复定位精度
3、单轴直线度1μm
4、速度均匀性极佳
5、直线电机驱动，光栅尺反馈

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