XY交叉高精密平台
产品介绍
产品特点：
1、工作台采用十字叠层线规结构，满足 XY 两个自由度运动
2、微米级重复定位精度
3、单轴直线度 1μm
4、XY 两轴正交性可达±2arc-sec
5、直线电机驱动，光栅尺反馈规格/3D图纸
尺寸图
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